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波長172nmの真空紫外光=エキシマ光の測定に適した専用受光素子としてダイヤモンド薄膜センサを採用しています。 ◆ 特 徴 ? 172nmエキシマUVランプの照度管理用照度計です。 ? 波長172nmのエキシマ発光における照度と光量を切り替えて測定できます。 ? NIST標(biāo)準(zhǔn)に基づく校正で絶対値での管理が可能です。 ? 測定データはRS-232Cによる通信出力を介して転送できます。 ◆ 仕 様 受光器(交換式) UV-SD172H-M06(校正波長172nm) 測定照度範(fàn)囲 0.001~300.0mw/cm2 測定光量範(fàn)囲 0.001~19999mJ/cm2 合わせ込み精度 當(dāng)社UV標(biāo)準(zhǔn)器に対して±5.0%以內(nèi) 繰り返し精度 ±1.5%以內(nèi)
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