OTSUKA大塚電子廣州代理,OTSUKA廣州代理,.,OTSUKA大塚電子廣州代理 450mm晶圓厚度檢測(cè)設(shè)備SF-450M日本OTSUKA大塚電子450mm晶圓厚度檢測(cè)設(shè)備SF-450M日本OTSUKA大塚電子450mm晶圓厚度檢測(cè)設(shè)備SF-450M日本OTSUKA大塚電子450mm晶圓厚度檢測(cè)設(shè)備SF-450M日本OTSUKA大塚電子450mm晶圓厚度檢測(cè)設(shè)備SF-450M日本OTSUKA大塚電子450mm晶圓厚度檢測(cè)設(shè)備SF-450M日本OTSUKA大塚電子 特 長(zhǎng)
450mmウェーハまでの厚み測(cè)定 0.5~1600µmのSi厚み測(cè)定 畫像認(rèn)識(shí)によるオリフラ?ノッチ角度検出精度5秒以內(nèi) 分光干渉法により非接觸?非破壊で高い再現(xiàn)性を?qū)g現(xiàn) 貼り合せウェーハの薄膜ボンディング、Si厚み、サポート基板のトータル厚み測(cè)定 多層厚み測(cè)定が可能 オリフラ、ノッチの畫像認(rèn)識(shí)によるウェーハ面內(nèi)高精度位置決めを?qū)g現(xiàn)
測(cè)定項(xiàng)目
厚み測(cè)定 膜厚解析
仕 様
型式 SF-450M 光學(xué)系 光學(xué)プローブ 厚み測(cè)定範(fàn)囲 0.5 ~ 1600µm 可動(dòng)軸 XY 測(cè)定徑 φ6、φ9、φ500µm ステージ面サイズ φ450mm 可動(dòng)軸ストローク XY軸:±225㎜ ウェーハサイズ 450 mm以下 計(jì)測(cè)時(shí)間 61 ポイント / 120s 以下 * 最大駆動(dòng)速度 140 mm /s ステージ分解能 0.1 µm以下 繰り返し位置決め精度 1 µm以下 その他機(jī)能 畫像処理によるオリフラ及びノッチ合わせ機(jī)能 吸著 あり 特注 アライメント対応、ローダ対応
* 高精度位置決めモードの場(chǎng)合
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OTSUKA大塚電子廣州代理,OTSUKA廣州代理,.,OTSUKA大塚電子廣州代理藤野貿(mào)易(廣州)有限公司-主營(yíng)FA自動(dòng)化、膠粘材料、油脂材料、機(jī)械設(shè)備、精密儀器、物流搬運(yùn),工具等產(chǎn)品
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